四探針電阻測試儀是一種用于測量物質(zhì)電阻率、電阻及方塊電阻的專業(yè)設(shè)備，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體材料、薄層材料檢測以及化工、建材等行業(yè)。它基于四探針接觸法設(shè)計，通過外側(cè)兩探針施加穩(wěn)定電流，內(nèi)側(cè)兩探針測量電勢差，實現(xiàn)電流-電壓分離測量，有效消除接觸電阻和引線電阻的干擾，確保測量結(jié)果的高精度。

　　該儀器適配多種樣品形態(tài)，包括塊狀、棒狀及薄膜材料，測量范圍覆蓋電阻率10??～10?Ω·cm，標準不確定度≤2%。其硬件配置先進，采用液晶顯示屏與自動溫度補償系統(tǒng)，二代機型配備自動傳感測試架，減少探針與樣品接觸損傷。內(nèi)置計算機可自動調(diào)整系數(shù)，通過接口實現(xiàn)數(shù)據(jù)存儲與導(dǎo)出，提升操作便捷性。

　　四探針電阻測試儀的保養(yǎng)方法：

　　一、日常保養(yǎng)（每次使用前后）

　　清潔探針

　　目的：去除探針尖d的氧化物、油污、灰塵或殘留樣品，防止接觸不良和測量誤差。

　　方法：

　　使用無水乙醇（分析純）或異丙醇浸濕無塵布或棉簽，輕輕擦拭四個探針的尖d。

　　對于頑固污染物，可使用極細的研磨紙（如金相砂紙，粒度≥1000#）極其輕微地打磨探針尖d，然后用酒精徹d清潔。（此操作需謹慎，避免改變探針形狀或間距）

　　嚴禁使用硬物刮擦或腐蝕性溶劑。

　　清潔樣品臺

　　用干凈的無塵布或蘸有無水乙醇的棉簽擦拭樣品臺表面，確保無灰塵、油漬或?qū)щ姎埩粑?，避免影響測量或造成短路。

　　檢查探針狀態(tài)

　　目視檢查四個探針是否筆直、無彎曲、無斷裂。

　　確認探針尖d銳利但不過分鋒利（避免劃傷樣品），無嚴重磨損或變形。

　　檢查探針間距是否一致（可用放大鏡觀察）。

　　檢查加載機構(gòu)

　　手動升降探針數(shù)次，感受是否有卡頓或松動。

　　確保恒力彈簧或壓力調(diào)節(jié)裝置工作正常，探針能平穩(wěn)下落并保持穩(wěn)定接觸壓力。

　　二、定期保養(yǎng)（每周/每月）

　　深度清潔

　　斷開電源，用壓縮空氣（低氣壓）吹掃探針支架、樣品臺及周圍區(qū)域，清除積聚的細小顆粒。

　　檢查并清潔探針與線纜的連接點，確保接觸良好。

　　校準驗證

　　使用標準樣片（已知電阻率或方塊電阻的標準硅片或薄膜電阻片）進行測量。

　　將測量結(jié)果與標準值對比，評估儀器的準確性和重復(fù)性。

　　如果偏差超出允許范圍（如±5%），需要進行校準或維修。

　　檢查線纜與接口

　　檢查所有連接線纜（探針線、電源線）是否有破損、擠壓或接觸不良。

　　確保各接口（如USB、RS232）清潔、牢固。

　　三、長期/專業(yè)保養(yǎng)（每季度/半年/年度）

　　探針更換

　　當探針出現(xiàn)嚴重磨損、彎曲、斷裂或無法通過清潔恢復(fù)性能時，必須更換。

　　務(wù)必使用原廠或規(guī)格完q匹配的探針，確保材質(zhì)、直徑、長度和間距一致。

　　更換后需重新進行校準驗證。

　　機械結(jié)構(gòu)維護

　　對升降導(dǎo)軌、軸承等運動部件進行潤滑（使用專用精密儀器潤滑油，避免過量）。

　　檢查并緊固所有螺絲和固定件，防止松動影響探針垂直度。

　　電氣系統(tǒng)檢查

　　由專業(yè)技術(shù)人員檢查恒流源的穩(wěn)定性、電壓表的精度以及內(nèi)部電路板狀態(tài)。

　　必要時進行專業(yè)校準（traceable calibration），確保符合計量標準。

　　軟件與固件更新

　　檢查制造商是否有發(fā)布新的控制軟件或固件更新，以提升性能或修復(fù)已知問題。

　　四、通用注意事項與存放

　　輕拿輕放：避免劇烈震動或撞擊，尤其是探針部分非常脆弱。

　　環(huán)境要求：

　　存放和使用環(huán)境應(yīng)干燥、清潔、無腐蝕性氣體。

　　避免陽光直射和溫度劇烈變化。

　　理想溫濕度：室溫（20-25°C），相對濕度<60%。

　　防塵保護：

　　不使用時，用防塵罩覆蓋儀器，或存放在專用儀器柜中。

　　可在儀器內(nèi)放置干燥劑，防潮。

　　正確操作：

　　測量時確保樣品表面平整、清潔、干燥。

　　探針應(yīng)垂直下落，避免側(cè)向受力。

　　避免在通電狀態(tài)下插拔探針線纜。

　　記錄保養(yǎng)日志：

　　建立設(shè)備保養(yǎng)檔案，記錄每次清潔、校準、更換部件的日期和內(nèi)容。