四探針電阻率方塊電阻測(cè)試儀注意事項(xiàng)：

　　1、儀器操作前請(qǐng)您仔細(xì)閱讀使用說(shuō)明書(shū)，規(guī)范操作

　　2、輕拿輕放，避免儀器震動(dòng)，水平放置，垂直測(cè)量

　　3、儀器不使用時(shí)請(qǐng)切斷電源，連接線無(wú)需經(jīng)常拔下，避免灰塵進(jìn)入航空插引起短接等現(xiàn)象

　　4、探針筆測(cè)試結(jié)束，套好護(hù)套，避免人為斷針

　　本儀器適用于半導(dǎo)體材料廠、半導(dǎo)體器件廠、科研單位、高等院校對(duì)半導(dǎo)體材料的電阻性能測(cè)試。

四探針電阻率方塊電阻測(cè)試儀

一、適用范圍

四端測(cè)試法是目前較*之測(cè)試方法，主要針對(duì)高精度要求之產(chǎn)品測(cè)試；本儀器廣泛用于生產(chǎn)企業(yè)、高等院校、科研部門(mén)，是檢驗(yàn)和分析導(dǎo)體材料和半導(dǎo)體材料質(zhì)量的一種重要的工具。

本儀器配置各類測(cè)量裝置可以測(cè)試不同材料之電導(dǎo)率。液晶顯示，無(wú)需人工計(jì)算，并帶有溫度補(bǔ)償功能，電導(dǎo)率單位自動(dòng)選擇，BEST-300C 材料電導(dǎo)率測(cè)試儀自動(dòng)測(cè)量并根據(jù)測(cè)試結(jié)果自動(dòng)轉(zhuǎn)換量程，無(wú)需人工多次和重復(fù)設(shè)置。選配：配備軟件可以由電腦操控，并保存和打印數(shù)據(jù)，自動(dòng)生成圖表和報(bào)表。

本儀器采用4.3吋大液晶屏幕顯示，同時(shí)顯示電阻值、電阻率、方阻、電導(dǎo)率值、溫度、壓強(qiáng)值、單位自動(dòng)換算，配置不同的測(cè)試治具可以滿足不同材料的測(cè)試要求。測(cè)試治具可以根據(jù)產(chǎn)品及測(cè)試項(xiàng)目要求選購(gòu).

提供中文或英文兩種語(yǔ)言操作界面選擇，滿足國(guó)內(nèi)及國(guó)外客戶需求

二、電阻測(cè)量范圍： 
1、電阻率： 1×10-6～2×106Ω.cm、

電   阻：1×10-5～2×105Ω

電導(dǎo)率：5×10-6～1×108ms/cm

分辨率：  最小1μΩ
測(cè)量誤差±5%
2、測(cè)量電壓量程： 2mV   20mV  200mV 2V 
   測(cè)量精度±（0.1%讀數(shù)）

分辨率：  0.1uV  1uV  10uV  100uV
3、⑴電流輸出：直流電流 0～1000mA 連續(xù)可調(diào)，由交流電源供電。
   ⑵量程：1μA，10μA，100µA，1mA，10mA，1000mA, 
   ⑶誤差：±0.2%讀數(shù)±2字

4. 主機(jī)外形尺寸：330mm*350mm*110mm

5、顯示方式：液晶顯示6、電源：220±10% 50HZ/60HZ

7、標(biāo)配：測(cè)試平臺(tái)一套、主機(jī)一套、電源線數(shù)據(jù)線一套。

導(dǎo)電電阻率測(cè)試儀功能介紹：本儀器采用四端測(cè)量法適用于碳素粉末廠、焦化廠、石化廠、粉末冶金廠、高等院校、科研部門(mén)，是檢驗(yàn)和分析粉末樣品質(zhì)量的一種重要的工具。本儀器采用4.3吋大液晶屏幕顯示，同時(shí)顯示電阻值、電阻率、電導(dǎo)率值、溫度、壓強(qiáng)值、單位自動(dòng)換算，配置不同的測(cè)試治具可以滿足不同材料的測(cè)試要求。測(cè)試治具可以根據(jù)產(chǎn)品及測(cè)試項(xiàng)目要求選購(gòu).使用薄膜按鍵開(kāi)關(guān)面板，操作簡(jiǎn)單，耐用，符合人體工學(xué)操作規(guī)范. 提供中文或英文兩種語(yǔ)言操作界面

導(dǎo)電電阻率測(cè)試儀滿足：YST 587.6-2006 炭陽(yáng)極用煅后石油焦檢測(cè)方法 第6部分 粉末電阻率的測(cè)定

配置手動(dòng)粉末測(cè)試裝置也可以（選購(gòu)）自動(dòng)粉末測(cè)試裝置，測(cè)試粉末時(shí)可以通過(guò)裝置獲得粉末壓實(shí)后高度、直徑、壓強(qiáng)等數(shù)據(jù)，輸入儀器后自動(dòng)計(jì)算出所需數(shù)據(jù).能方便解決粉末及顆粒物料電阻、電阻率及電導(dǎo)率測(cè)量需求，經(jīng)濟(jì)實(shí)惠，功能突出，設(shè)計(jì)合理，是粉末行業(yè)理想之測(cè)試儀器.

BEST-300C導(dǎo)電材料電阻率測(cè)定儀

按照硅片電阻率測(cè)量的國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)（ASTM F84）及標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計(jì)制造該儀器設(shè)計(jì)符合GB/T 1551-2009 《硅單晶電阻率測(cè)定方法》、GB/T 1551-1995《硅、鍺單晶電阻率測(cè)定直流兩探針?lè)ā?、GB/T 1552-1995《硅、鍺單晶電阻率測(cè)定直流四探針?lè)ā凡⒖济绹?guó) A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)，本機(jī)配置232電腦接口及USB兩種接口，本機(jī)采用范德堡測(cè)量原理能改善樣品因幾何尺寸、邊界效應(yīng)、探針不等距和機(jī)械游移等外部因素對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響及誤差，比市場(chǎng)上其他普通的四探針測(cè)試方法更加完善和進(jìn)步,特別是方塊電阻值較小的產(chǎn)品測(cè)量，更加準(zhǔn)確.

本儀器本儀器采用四探針單電測(cè)量法適用于生產(chǎn)企業(yè)、高等院校、科研部門(mén)，是檢驗(yàn)和分析導(dǎo)體材料和半導(dǎo)體材料質(zhì)量的一種重要的工具。本儀器配置各類測(cè)量裝置可以測(cè)試不同材料。液晶顯示，無(wú)需人工計(jì)算，并帶有溫度補(bǔ)償功能，電阻率單位自動(dòng)選擇，儀器自動(dòng)測(cè)量并根據(jù)測(cè)試結(jié)果自動(dòng)轉(zhuǎn)換量程，無(wú)需人工多次和重復(fù)設(shè)置。采用高精度AD芯片控制，恒流輸出，結(jié)構(gòu)合理、質(zhì)量輕便，運(yùn)輸安全、使用方便；選配：配備軟件可以由電腦操控，并保存和打印數(shù)據(jù)，自動(dòng)生成報(bào)表；本儀器采用4.3吋大液晶屏幕顯示，同時(shí)顯示液晶顯示：電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數(shù)、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、電導(dǎo)率，配置不同的測(cè)試治具可以滿足不同材料的測(cè)試要求。測(cè)試治具可以根據(jù)產(chǎn)品及測(cè)試項(xiàng)目要求選購(gòu)

維護(hù)和保養(yǎng)

1 .使用者的維護(hù)

為了防止意外發(fā)生，請(qǐng)不要接觸機(jī)內(nèi)部件。本機(jī)器內(nèi)部所有的零件，絕對(duì)不需使用者的維護(hù)。如果機(jī)器有異常情況發(fā)生，請(qǐng)直接與瑞柯儀器公司廠家聯(lián)系或其的經(jīng)銷商給予維護(hù)。

2. 使用者的修改

使用者不得自行更改機(jī)器的線路或零件，如被更改機(jī)器后保修則自動(dòng)失效并且本公司不負(fù)任何事故責(zé)任。在保修內(nèi)使用未經(jīng)我公司認(rèn)可的零件或附件造成故障也不予保證。如發(fā)現(xiàn)送回檢修的機(jī)器被更改，將機(jī)器的電路和零件修復(fù)回原來(lái)設(shè)計(jì)的狀態(tài)，并收取修護(hù)費(fèi)用。

3.測(cè)試工作站

3.1工作位置

工作站的位置選擇必須安排在一般人員非必經(jīng)的處所，使非工作人員選離工作站。如果因?yàn)闂l件限制的安排而無(wú)法做到時(shí)，必須將工作站與其這它設(shè)施隔開(kāi)并且特別標(biāo)明“測(cè)試工作站"。如果工作站與其它作業(yè)站非常接近時(shí)，必須特別注意安全的問(wèn)題。在測(cè)試時(shí)必須標(biāo)明“測(cè)試執(zhí)行中，非工作人員請(qǐng)勿靠近"

4.輸入電源

輸入：220V±10%  使用頻率：50Hz

4.3.3工作場(chǎng)所

盡可能使用非導(dǎo)電的工作桌工作臺(tái)。操作人員和待測(cè)物之間不得使用任何金屬。操作人員的位置不得有跨越待測(cè)物去操作或調(diào)整測(cè)試儀器的現(xiàn)象。測(cè)試場(chǎng)所必須隨時(shí)保持整齊、干凈，不得雜亂無(wú)章。測(cè)試站及其周邊之空氣中不能含有可燃?xì)怏w或在易燃物質(zhì)。

4.3.4人員資格

本儀器為精密儀器，必須由訓(xùn)練合格的人員使用和操作。

4.3.5安全守則

操作人員必須隨時(shí)給予教育和訓(xùn)練，使其了解各種操作規(guī)則的重要性，并依安全規(guī)則操作。

4.3.6衣著規(guī)定

操作人員不可穿有金屬裝飾的衣服或戴金屬手飾和手表等，這些金屬飾物很容易造成意外的感電。

4.3.7醫(yī)學(xué)規(guī)定

絕對(duì)不能讓有心臟病或配戴心律調(diào)整器的人員操作。

4.4測(cè)試安全程序規(guī)定

一定要按照規(guī)定程序操作。操作人員必須確定能夠*自主掌控各部位的控制開(kāi)關(guān)和功能。

4.5安全要點(diǎn)

● 非合格的操作人員和不相關(guān)的人員應(yīng)遠(yuǎn)離測(cè)試區(qū)。

● 萬(wàn)一發(fā)生問(wèn)題，請(qǐng)立即關(guān)閉電源并及時(shí)處理故障原因。

1.使用前期準(zhǔn)備--測(cè)試前準(zhǔn)備工作：

1.1.開(kāi)機(jī)預(yù)熱：將220V電源插頭插入電源插座，打開(kāi)電源開(kāi)關(guān)，讓儀器預(yù)熱15分鐘，保證測(cè)試數(shù)據(jù)穩(wěn)定。若測(cè)試儀無(wú)常啟動(dòng)，請(qǐng)按以下步驟檢查：

①檢查電源線是否接觸良好；

②檢查后面板上的電源開(kāi)關(guān)是否已經(jīng)打開(kāi)

③檢查保險(xiǎn)絲是否熔斷，如有必要，請(qǐng)更換保險(xiǎn)絲

④ 如經(jīng)上述檢查無(wú)誤后，測(cè)試儀仍未正常啟動(dòng)，請(qǐng)聯(lián)系本公司進(jìn)行解決。

1.2.準(zhǔn)備好被測(cè)物，鏈接好測(cè)試探頭，把測(cè)試探頭接口與主機(jī)接口相連接，并鎖定，防止松動(dòng)或接觸不良而對(duì)測(cè)試結(jié)果造成影響.

1.3.接通電源，開(kāi)啟電源開(kāi)關(guān)，待儀器液晶顯示屏上顯示出廠家和產(chǎn)品信息后，如圖3，按“顯示"鍵進(jìn)入，

1.4.進(jìn)入測(cè)試功能界面如圖4、圖5；如測(cè)試方阻時(shí)，請(qǐng)選擇液晶顯示屏又側(cè)對(duì)應(yīng) 的功能按鍵“方阻"，則進(jìn)入方阻測(cè)試界面；如測(cè)試其他材料時(shí)，請(qǐng)選擇“材料"則進(jìn)入材料電阻，電阻率，電導(dǎo)率測(cè)試儀界面。

1.5.設(shè)置好被測(cè)物所需之參數(shù)，把被測(cè)物放于測(cè)試治具平臺(tái)上操作，測(cè)試完畢直接顯示測(cè)試數(shù)據(jù)。如配置軟件，軟件操作說(shuō)明書(shū)同安裝軟件在一起，請(qǐng)注意查看操作步驟.

以下分別講解方阻和材料測(cè)試的設(shè)置

2.四探針?lè)阶铚y(cè)試步驟

2.1.上述步驟中1項(xiàng)，使用前期準(zhǔn)備

2.2 把被測(cè)物測(cè)試所需要之參數(shù)數(shù)據(jù)設(shè)定：

2.2.1依據(jù)不同之測(cè)試樣品，選擇被測(cè)試電流，電流設(shè)置：按方向鍵移動(dòng)光標(biāo)至“電流"功能，按“設(shè)置"鍵進(jìn)入；再按“左右"方向鍵選擇電流數(shù)據(jù)，選擇完畢后按“確定"鍵進(jìn)行確認(rèn)。按照以上步驟和方法選擇電壓、長(zhǎng)度單位、探針形狀設(shè)定、溫度.

2.2.2.探針間距數(shù)據(jù)的輸入，探針間距出廠時(shí)已經(jīng)標(biāo)定，無(wú)需再次測(cè)量，探針頭上有詳細(xì)的探針數(shù)據(jù)資料，探針間距的設(shè)置：將光標(biāo)移動(dòng)至“探針間距"按“設(shè)置"鍵進(jìn)入，通過(guò)面板上面的“數(shù)字"按鍵輸入數(shù)據(jù)按“確定"鍵進(jìn)行確認(rèn)；按照以上方法和步驟設(shè)定"厚度“，注意厚度和探針間距修正系數(shù)表已經(jīng)設(shè)置在儀器程序中，自動(dòng)修正，無(wú)需再次輸入和查詢表格。

2.3.測(cè)試探頭和測(cè)試平臺(tái)操作

選配測(cè)試平臺(tái)的將被測(cè)物放在測(cè)試平臺(tái)上，調(diào)節(jié)探頭探針與樣品良好接觸，探頭有二種，一種是探針是彈簧針型，一種是硬針而探頭內(nèi)腔有彈簧；探頭有方型和直線型兩種結(jié)構(gòu)；調(diào)節(jié)測(cè)試平臺(tái)上的水平定位角，保證水平儀水準(zhǔn)在中心位置；放置好被測(cè)物品，后壓下探頭至被測(cè)物，帶數(shù)據(jù)穩(wěn)定后讀取

材料電阻測(cè)試步驟：

操作步驟及流程

3.1.本機(jī)可以依據(jù)不同測(cè)試產(chǎn)品選擇配置不同的測(cè)試治具，以下舉例操作說(shuō)明

3.1.1.在開(kāi)機(jī)界面按下按鍵板上的“顯示"鍵，進(jìn)入測(cè)量界面。如圖1

3.1.2 如圖2，在液晶顯示屏右側(cè)有4個(gè)藍(lán)色功能按鍵，當(dāng)測(cè)材料電阻率時(shí)，請(qǐng)選擇 “材料"按鍵 ，進(jìn)入材料測(cè)試主界面.  

3.1.3.在該界面下通過(guò)按下按鍵板上的上下左右鍵，可以移動(dòng)藍(lán)色光標(biāo)選擇相應(yīng)的參數(shù)。如圖2，將移動(dòng)到某一參數(shù)的位置，按下“設(shè)置"鍵，光標(biāo)將變?yōu)樯钏{(lán)色。此時(shí)通過(guò)上下左右鍵和數(shù)字鍵可以對(duì)相應(yīng)的參數(shù)進(jìn)行設(shè)置，設(shè)置完畢后按“確定"鍵返回。

3.1.4.如圖3接線方式，把主機(jī)與夾具連接線，連接好并固定住，

3.1.5.取試樣，試樣試驗(yàn)前的處理依據(jù)標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行，

3.1.6.把樣品放于固定治具夾口內(nèi)，把HD和LD接口分別與治具接口連接（不分順序）如圖3；另外兩個(gè)接口與探頭接線位置連接，后，放入被測(cè)樣品，輸入高度數(shù)據(jù)（為探針之間的間距），其他數(shù)據(jù)為樣品本身尺寸。

3.1.7.試樣固定住后，加壓探頭探針至被測(cè)樣品表面，帶數(shù)據(jù)穩(wěn)定后讀數(shù).

3.1.8. 按下“放大"鍵對(duì)應(yīng)的按鍵可以對(duì)當(dāng)前界面的測(cè)量數(shù)據(jù)進(jìn)行放大

3.1.9. 待參數(shù)設(shè)置完畢，開(kāi)始測(cè)量，把測(cè)試獲得的數(shù)據(jù)寫(xiě)入試驗(yàn)報(bào)告中

3.1.10.以下設(shè)置和功能屬于配置操作軟件機(jī)型使用，如您購(gòu)買(mǎi)的無(wú)電腦操作軟件的話，請(qǐng)勿設(shè)置.

3.1.11.接口：可選擇“USB"和“232"兩種模式。根據(jù)用戶使用的接口類型進(jìn)行選擇。

測(cè)試功能：可選擇：“RρK"（顯示電阻，電阻率，電導(dǎo)率），“R"（只顯示電阻），“ρ"（只顯示電阻率，“K"（只顯示電導(dǎo)率）3種顯示模式。

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